CDS自動供液系統(tǒng)（Central Chemical Dispense System）是一種高度自動化的化學(xué)液集中供應(yīng)系統(tǒng)，主要用于半導(dǎo)體、集成電路等精密制造領(lǐng)域。

1、CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;

2、設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類)：酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP10T板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451H 材質(zhì);

3、系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pu，方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn)；

4、過濾器：配有10” FFA材質(zhì)過濾器外殼;

5、供液泵：每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺FTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;

6、所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄痛偵測器與警報功能。

CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格

1、設(shè)備主要功能：每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器；

       系統(tǒng)控制單元：配帶0ION 8 彩色觸摸屏；

2.操作模式：

CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化與親和力。

在自動模式情形下可自行達(dá)成供酸之功能。

在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。

3.設(shè)備結(jié)構(gòu)：

（1）機(jī)架：盤底SUS 方管50x50x1.5T與機(jī)體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構(gòu)而成，具有調(diào)整腳座。

（2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP被覆。

（3）箱體：供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為WPP/透明PWC。

（4）閥體材質(zhì)型式：供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。

（5）泄痛偵測型式：采靜電容式或光電式，須能耐酸堿之浸泡。

4.設(shè)備內(nèi)部空間規(guī)劃：

(1)配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄功能。

(2)電控區(qū)：完全密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。

(3)取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄痛功能。

(4)桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內(nèi)之潔凈度，下方有排放泄痛功能。

5.電控系統(tǒng)：

(1)空間規(guī)劃:完全與酸氣隔離的獨(dú)立空間并有N2 Purge功能，從后方有寬大維修空間。

(2)重要元件:

PLC: OMRON

GP:10”O(jiān)MRON  Touch

Empty Sensor &Level Sensor:采用靜電容近接開關(guān)

6.附屬裝置:

（1）排氣裝置:每一個Unit 皆配備排氣裝置

（2）每一個Unit 皆配備一組DIW GUN.

7.安全保護(hù)裝置:

（1）漏電斷電斷路保護(hù)裝置

（2）機(jī)臺底部痛液檢知裝置

（3）電控箱正壓裝置

（4）E.M.O.裝置